・スピンドルピッチ0.1mmの高精度ねじ加工技術の実現により、
従来の0.5mmピッチに対し、1/5の微細送りを可能にしました。
・外観形状は従来の標準タイプ(0.5mmピッチ)と互換性を
持たせていますので、簡単に交換ができます。
■用途
半導体装置のテーブル送り、光学用光軸調整装置の微細送りなど。
■仕様
コードNo.
符 号
測定
範囲(mm)
目量
(mm)
ステム形状
先端形状
目盛
仕様
器差
(μm)
148-242
MHT3-6.5FP
0〜6.5
0.002
ストレート
球面(SR3)
正目盛
±5
148-244
MHT3-5FP
0〜5
0.004
ストレート
球面(SR1.5)
正目盛
±5
148-245
MHT4-5FP
0〜5
0.004
ナット付
球面(SR1.5)
正目盛
±5